«Маппер»

Уникальные технологии

Технологическая линия компании «Маппер» позволяет выпускать малые партии микроэлектромеханических систем, даже в единственном экземпляре. В обычном случае это слишком дорого, потому что для каждого устройства нужен свой фотошаблон, который называется маской. Поэтому большинство компаний не выполняют штучные заказы.

Что делают

Компания выпускает отечественные микроэлектромеханические системы, которые сокращенно называются МЭМС. Это миниатюрные устройства, которые объединяют механические и электрические компоненты. Они используются в датчиках, переключателях, мобильных телефонах, ноутбуках, автомобилях и многих других приборах.

Как делают

Кремниевую пластину покрывают светочувствительным материалом – фоторезистом. Пленка засвечивается ультрафиолетом сквозь фотошаблон с определенным рисунком, который называют маской. Под действие ультрафиолета участки засвеченного фоторезиста разрушаются, и их удаляют с использованием проявителя.

На сохранившийся рисунок напыляют тонкие слои металлов, диэлектриков, иногда применяют травление. Затем оставшуюся пленку резиста удаляют. При таком методе производства для каждого нового элемента нужна уникальная маска.

Все процессы проходят в чистой комнате, куда можно попасть только в специальном костюме, который не генерирует частиц пыли. Но даже в этих стерильных условиях пластины проходят очистку, в том числе от биоматериала.

Чистая комната разделена на зоны травления и нанесения тонких пленок, фотолитографии, метрологии, обработки и резки пластин.

Отдельная закрытая зона отведена фотолитографии. Здесь всегда горит желтый свет, который не разрушает фоторезист. В этом же желтом секторе находится установка для обработки пластин и элементов. Одна ее часть предназначена для работы с органической ­химией, вторая – с неорганикой.

С неорганической химией взаимодействует робот-рука, он опускает кассеты с пластинами в ванночки с кислотами и щелочами и потом ополаскивает водой.

До 3 тыс. частиц размером до 5 мкм могут быть в 1 куб. м воздуха чистой комнаты. Для сравнения: в 1 куб. м воздуха Москвы витает 25 тыс. частиц такого размера.

Кто делает

В компании «Маппер» работают 30 человек и проходят практику около 10 студентов. Многие сотрудники компании «Маппер» работали на зарубежных полупроводниковых производствах.